Piezo-Lineartisch

Piezo-Lineartische | 'XLS'


Die Piezo-Lineartische der XLS-Serie werden von unserem Crossfixx™-Ultraschallmotor angetrieben und bieten Ihnen damit das Beste aus zwei Welten:

1) Die Präzision und Kompaktheit von Piezo-Achsen
2) Hohe Geschwindigkeit, großer Verfahrweg und lange Lebensdauer

Alle unseren Linearen Piezotische können problemlos zu einem Mehr-Achs-System kombiniert werden und sind in vakuumkompatiblen Versionen erhältlich.

Nur 1–2 Wochen Lieferzeit für die meisten Produkte.

Miniatur-Lineartisch mit integriertem Encoder


Steuerung:Closed-Loop-Regelung
Höhe:13 ... 16,8 mm
Breite:34 ... 47,6 mm
Masse:40 ... 241 g
Verfahrweg:10 ... 110 mm
Auflösung:1,25 µm ... 5 nm
Max. Geschwindigkeit:200 mm/s
Max. Positionierfrequenz:50 Hz
Antriebskraft (= Haltekraft):1 ... 5 N
Lebensdauer:> 1000 km / typ. 20 Mio. Zyklen
Vakuumkompatibilität:Optional

Präzise, schnell, kompakt. Hält die Position auch im ausgeschalteten Zustand.

▼ Komplette Spezifikationen

Wählen Sie Ihren Piezo-Lineartisch


Antriebskraft

Tischlänge

= Verfahrweg:

27 - 92 mm

Encoder-Auflösung

HV / UHV Vakuum - optional 

Kurzer Käfig

Abmessungen:

30 - 120 x 34 x 13 mm

Preise


XLS Pricing 2026

Tische

Bitte kontaktieren Sie uns für ein Angebot und Mengenrabatte (Stückzahl ≥ 10).
Die Preise sind Richtwerte und können ohne vorherige Ankündigung geändert werden.

HV = High Vacuum, UHV = Ultra High Vacuum

Alle Preise sind in Euro (€). Wir liefern weltweit. Kontaktieren Sie uns für internationale Angebote oder Bestellungen.

XLS Controllers Pricing 2026

Controllers

Der XD-C ist standardmäßig nur als PCB-Version verfügbar. Aufpreis für Desktop-Version: 200 €.
– 2-Achs-Modell. 300 € für jede zusätzliche Achse, bis zu 6 Achsen.
– Für einige Konfigurationen ist ein zusätzliches Motherboard erforderlich. Details auf Anfrage.

Technische Details


Piezo-Lineartische

Xeryon-Piezotische sind modular aufgebaut und ermöglichen einfache Mehr-Achs-Konfigurationen.

Kompakt, präzise & schnell


Linearer Piezotisch


Unsere Hochgeschwindigkeits-Piezotische ermöglichen Grob- und Feinpositionierung in einem einzigen System. Wie es funktioniert.

 

  • Grob- und Feinpositionierung in einem

  • Kein Genauigkeitsverlust über die Zeit

  • Wartungsfrei

  • Keine Erzeugung von Magnetfeldern

  • Direktantrieb

  • Manuell übersteuerbar, ohne die Lebensdauer zu beeinträchtigen

  • Niedrige und sichere Spannung (< 48 V)

  • Geringer Energieverbrauch

  • Geeignet für langsame und gleichmäßige Scans

  • Optionale Extrempräzisions-Führungen auf Anfrage erhältlich

Weitere Videos


Piezo-Kreuztisch


Motorisierte XY-Tische - für automatisierte Mikroskopie und mehr

In Europa hergestellt. Weltweit vertraut.

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Thermo Fischer logo
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Fraunhofer logo
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Halo-Industries-Logo (1)
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+ Über 500 NDAs

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Die Geschwindigkeit und Präzision der Lineartische von Xeryon haben es uns ermöglicht, unser Mikroskop-Design deutlich zu verbessern und den Markt spürbar zu verändern. Am wichtigsten ist jedoch, dass unsere Kunden damit wissenschaftliche Entdeckungen deutlich beschleunigen konnten. Einen solchen Technologiesprung zu erreichen, ist selten.

Leiter Forschung und Entwicklung

Hersteller von Fluoreszenzmikroskopen

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Unsere Lasersysteme nutzen eine große Anzahl motorisierter Optiken. Nachdem wir bei unserem Hauptlieferanten Qualitäts- und Lieferprobleme erlebt hatten, beschlossen wir, Xeryon eine Chance zu geben. Sie haben sich als verlässlicher Partner erwiesen, und wir stellten fest, dass ihre Piezo-Tische deutlich langlebiger sind als die zuvor verwendeten.

Senior Optomechanik-Designer

Hersteller Femtosekundenlasers

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Anfangs fiel es mir schwer zu glauben, dass eine derart hohe Leistungsfähigkeit aus einem so kompakten System stammen kann. Die Technologie von Xeryon war die einzige Lösung, die es uns ermöglicht hat, die Maschine zu realisieren, die wir uns vorgestellt hatten – und damit die nächste Generation automatisierter Testsysteme zu entwickeln. Auch das Team war außergewöhnlich hilfsbereit und beantwortete all unsere Integrationsfragen äußerst kompetent.

Leitender Maschinenbauingenieur

Führender Hersteller von Halbleiter-Testsystemen

    Ultraschall-Lineartisch | XLS


    Der XLS ist ein präziser Lineartisch, der von einem Ultraschall-Piezomotor angetrieben wird. Dadurch sind schnelle Positionierbewegungen mit Submikrometer-Präzision möglich. Der selbsthemmende Piezomotor hält die Position des Tisches, wenn er nicht mit Strom versorgt wird. Dadurch wird die Wärmeentwicklung deutlich reduziert.

    Der XLS ist der schnellste Lineartisch dieser kompakten Baugröße weltweit.

    Noch nicht mit Ultraschall-Piezotechnologie vertraut? Schauen Sie sich unsere Evaluierungskits an – der perfekte Einstieg, um unsere Produkte auszuprobieren!

    Nicht das, was Sie suchen? Wir entwickeln auch kundenspezifische Tische für Ihr spezifisches Produkt. Kontaktieren Sie uns, um über ein kundenspezifisches Design zu sprechen.

    Häufig gestellte Fragen


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